【新品】3D测量激光显微镜——OLS5000

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【新品】3D测量激光显微镜——OLS5000

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3D 测量激光显微镜【新品】
——OLS5000

 

· 【配置】                                                                                    
LEXT OLS5000 3D测量激光扫描显微镜配置的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共聚焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。

[获取彩色信息]
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。

[获取3D高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共聚焦光学采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。

 

通过使用方便、高速的图像拼接,可在更大的范围内进行高精度的测量。

 

    综合倍率:54X—17,280X
    测量分析功能:

       轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、面粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。
    可扩展分析功能:薄膜厚度测量、自动边缘检测功能、颗粒物分析、球体/圆柱体表面角度分析功能。
    分辨率:120 nm(平面)、6 nm(高度)
    高精度的保证。

 
 
 

X-Y扫描仪                                                                    
OLS5000显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合,能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置,因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的卓越X-Y扫描。

 

 
 

高度测量原理                                                           
在测量高度时,显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。
根据非连续的焦点位置(Z)和检测光强(I)可以估算每个像素的光强变化曲线(I-Z曲线),并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相应,因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似,通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像(扩展图像)。
 

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

以接近纳米级的高分辨率进行3D观察与和测量的激光显微镜
        可以更简便、更快捷、更大的范围地获得图像
        具备智能扫描功能,任何人都可以一键完成获取3D图像操作。

 

 

 
 
 
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